silvaco用户手册学习2——statement——DOPING[通俗易懂]

指定用于REGRID的输出文件的名称。

第一个DOPING语句应该使用这个参数来指定一个文件名。输入文件中第一个DOPING语句和所有后续DOPING语句的所有掺杂信息都保存到该文件中。

REGRID语句可以读取这个文件，并在新网格上插入掺杂。

指定放置interface profile的所有相邻区域的material。

指定放置interface profile的邻近区域的名称。

指定使用ERFC分析函数来生成掺杂分布。如果指定了ERFC，还必须指定以下参数:

极性参数： N.TYPE或 P.TYPE

 profile specifications的下面group之一：

• Group 1:CONCENTRATION 和 JUNCTION
• Group 2:DOSE 和 CHARACTERISTIC
• Group 3:CONCENTRATION 和 CHARACTERISTIC

指定使用高斯分析函数生成掺杂分布。如果指定了GAUSSIAN，还必须指定以下参数:

极性参数： N.TYPE或 P.TYPE

profile specifications的下面group之一：

• Group 1:CONCENTRATION 和 JUNCTION
• Group 2:DOSE 和 CHARACTERISTIC
• Group 3:CONCENTRATION 和 CHARACTERISTIC

指定使用uniform (constant) analytical functions来生成掺杂分布。如果指定UNIFORM，则必须指定N.TYPE、P.TYPE和CONCENTRATION参数。掺杂被引入一个由边界参数定义的框中。默认情况下，该框包含整个区域。

指定一个2D doping profile,这个掺杂分布在矩形Cartessian grid上定义。由 INFILE. 2D指定的一个文件，该文件load  2D doping profile

ASCII必须与N.TYPE、P.TYPE或NET参数一起指定。

文件的第一列应该包含X坐标。第二列应该包含Y坐标。第三栏应包含掺杂数据。

两个含义：

（1）当它与其他格式参数组合时，它将文件类型指定为ASCII

（2）当单独使用这个参数时，它指定了包含浓度与深度信息的ASCII数据文件。这个参数的别名是1D.PROC

ASCII INFILE=<filename>

#filename是ASCII输入文件的名称。数据文件必须采用以下格式:
#       depth    concentration
#       depth    concentration
#       depth    concentration
#                ...
#depth单位um为单位指定，
#concentration单位cm^(-3)。
#必须指定输入文件名、掺杂剂类型和边界参数。
#除非使用N.TYPE或P.TYPE参数，否则假设正浓度为n型，负浓度为p型

指定掺杂件为Athena 1D导出文件。该参数的作用方式与SSuprem3参数类似。